南大光電在接受機(jī)構(gòu)調(diào)研時(shí)表示，公司ArF光刻膠產(chǎn)品分別通過(guò)一家存儲(chǔ)芯片制造企業(yè)和一家邏輯芯片制造企業(yè)的驗(yàn)證，目前多款產(chǎn)品正在多家客戶(hù)同時(shí)進(jìn)行認(rèn)證。
圖：南大光電
據(jù)南大光電透露，公司的光刻膠主要檢測(cè)設(shè)備（如光刻機(jī)）已經(jīng)安裝調(diào)試完畢，并正常投入使用。此外，南大光電本次還表示，公司量產(chǎn)產(chǎn)品包括MO源、半導(dǎo)體前驅(qū)體、電子特氣、光刻膠及配套材料等，可在薄膜沉積、光刻、蝕刻、摻雜、清洗等多個(gè)集成電路制造流程中實(shí)現(xiàn)應(yīng)用。南大光電是從事先進(jìn)電子材料生產(chǎn)、研發(fā)和銷(xiāo)售的高新技術(shù)企業(yè)，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路、平板顯示、LED、第三代半導(dǎo)體、光伏和半導(dǎo)體激光器的生產(chǎn)制造。公司產(chǎn)品分為先進(jìn)前驅(qū)體材料、電子特氣和光刻膠及配套材料三個(gè)板塊，目前主要收入貢獻(xiàn)來(lái)自于先進(jìn)前驅(qū)體材料和電子特氣。其中，南大光電表示，先進(jìn)前驅(qū)體材料如28nm和14nm制程前驅(qū)體、硅前驅(qū)體等產(chǎn)品研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化取得重要突破。氫類(lèi)電子特氣在技術(shù)、品質(zhì)、產(chǎn)能和銷(xiāo)售各方面已躍居世界前列。氟類(lèi)電子特氣方面公司加快烏蘭察布“試驗(yàn)田”建設(shè)，為建設(shè)“世界單項(xiàng)冠軍”產(chǎn)品奠定堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。
