最新消息，彭博社援引知情人士透露，美國正向荷蘭、日本施壓，要求光刻機制造商ASML和尼康停止向中國大陸出售技術(shù)較成熟的DUV光刻設(shè)備。

來源：彭博社

繼阻止中芯國際和SK海力士無錫廠引入EUV光刻機后，美國政府對大陸半導(dǎo)體的遏制已經(jīng)延伸到非先進工藝的7nm節(jié)點。

知情人士表示，美國官員正在游說荷蘭當局禁止ASML出售成熟制程所需的深紫外光（DUV）浸沒式光刻系統(tǒng)。這類設(shè)備所用于的芯片制程技術(shù)比先進技術(shù)落后一代以上，但仍是制造汽車、手機、電腦乃至機器人所需的成熟制程芯片最常用的設(shè)備。

由于ASML壟斷了全球高端光刻市場，浸沒式DUV全球市占率達93%，EUV全球市占率達100%。消息拖累ASML的美國存托憑證（ADR）價格一度重挫超8%，為近一年最大盤中跌幅。

圖：可用于7nm工藝的尼康浸沒式DUV

此外，美國官員也試圖施壓技術(shù)落后ASML的DUV供應(yīng)商日本尼康，要求停止向大陸芯片制造商發(fā)貨。

日本尼康和佳能是ASＭL外全球最大的兩家DUV制造商，芯片大師曾報道ASML CEO：某集團被迫買洗衣機來拆芯片，過去兩年內(nèi)其用于200mm晶圓的二手設(shè)備已經(jīng)漲價數(shù)倍，甚至已有20年歷史的老舊機臺在二手和租賃市場都供不應(yīng)求。

浸沒式光刻技術(shù)也稱氟化氬浸沒（簡稱ArFi），是EUV的上一代技術(shù)，ASML、尼康的高端ArF設(shè)備最高均能實現(xiàn)7nm工藝，也是當初推動ASML一躍成為全球光刻霸主的關(guān)鍵技術(shù)，如今成為打壓大陸半導(dǎo)體業(yè)的新工具。

公開資料顯示，ASML在2021年出貨81臺浸沒式DUV設(shè)備，而尼康則為4臺。

圖：美國商務(wù)部官員訪問ASML

知情人士說，美國商務(wù)部副部長格雷夫斯（Don Graves）于5月底出訪荷蘭時，提出了這一要求。但暫時來看，荷蘭政府尚未同意額外限制ASML向中國大陸晶圓制造商出口DUV設(shè)備，同時荷蘭首相呂特6月曾表示他“反對重新考量與中國的貿(mào)易關(guān)系”。

ASML CEO溫彼得今年稍早時候也曾表示，ASML反對禁止把DUV設(shè)備賣給中國大陸，因為這是成熟技術(shù)。ASML對中國大陸（包含國內(nèi)外企業(yè)的所有晶圓廠）發(fā)貨的銷售額，占2021年總營收的14.7%。

圖：全球主要芯片制造設(shè)備市場

同時根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，盡管無法引進先進工藝設(shè)備，中國大陸依然連續(xù)兩年成為全球最大的晶圓制造設(shè)備市場，累計花費高達483億美元（約合人民幣3200億人民幣）。

盡管其中有斷供壓力下晶圓廠囤積庫存和產(chǎn)能緊缺導(dǎo)致擴產(chǎn)的雙重催化，但這份數(shù)據(jù)展示的強大市場潛力背后，ASML等先進工藝設(shè)備無法進入依然使其遭受了不少的損失。

ASML發(fā)言人表示：“討論并不是新的。尚未作出任何決定，我們不希望對傳言加以臆測或評論。”尼康則未予置評。