6月7日至18日，三星集團(tuán)副會(huì)長李在镕訪問歐洲并拜訪ASML，臺(tái)媒稱此行目標(biāo)主要在最新一代EUV光刻機(jī)的采購與下一代設(shè)備的合作計(jì)劃。

臺(tái)灣工商時(shí)報(bào)援引業(yè)界解讀稱，李在镕親訪ASML，“固樁”意味濃厚，讓三星與臺(tái)積電為明、后年啟動(dòng)的美國及日本晶圓廠投資計(jì)劃，提前掀起EUV“搶機(jī)臺(tái)大戰(zhàn)”。

數(shù)據(jù)顯示，臺(tái)積電目前EUV機(jī)臺(tái)安裝量占全球50%，而EUV晶圓制造產(chǎn)出量占全球65%，在該領(lǐng)域的使用經(jīng)驗(yàn)與量產(chǎn)能力上均有優(yōu)勢。

傳聞去年ASML的EUV設(shè)備年度出貨量為48臺(tái)，其中，三星購得15臺(tái)，臺(tái)積電為20臺(tái)。預(yù)計(jì)今年ASML EUV出貨量為51臺(tái)，其中三星預(yù)定18臺(tái)，臺(tái)積電則至少確保22臺(tái)。

同時(shí)，下一代High-NA EUV 設(shè)備因?yàn)榫芏雀?、設(shè)計(jì)零件更多，價(jià)格再次刷新認(rèn)知，參見芯片大師此前文章價(jià)格翻倍！ASML：下一代EUV單臺(tái)約22億元。其中，最新款量產(chǎn)系統(tǒng)EXE:5200由英特爾率先下訂，單臺(tái)報(bào)價(jià)在3-4億美元左右。