當?shù)貢r間3月21日，荷蘭埃因霍溫地方檢察院稱，埃因霍溫的一名恐怖嫌疑人使用工作證，試圖進入儲存氫氣的ASML實驗室。

繼昨日芯片大師報道烏克蘭頂級半導(dǎo)體科學(xué)家在沖突中身亡后，歐洲半導(dǎo)體界再次爆出嚴重事件！

據(jù)荷媒ED報道，事發(fā)ASML的實驗室中存儲了各種化學(xué)品，用于測試芯片制造設(shè)備，其中包括少量的氫氣。

荷蘭埃因霍溫地方檢察院表示，在恐怖嫌疑人試圖進入ASML實驗室的同一天，嫌疑人所在的小組將觀看一個關(guān)于如何制作炸藥的指導(dǎo)視頻。

ASML發(fā)言人稱，只有數(shù)量有限且注冊登記的ASML員工可以進入該實驗室，同時案件涉及的這三名嫌疑人在氫氣實驗室方面沒有任何權(quán)力。

公開信息顯示，當日嫌疑人最終沒有成功進入該實驗室，但該企圖被登記在案。該嫌疑人在上周五的聽證會上說，他曾多次借用過一張ASML的員工通行證。據(jù)說，該通行證來自嫌疑人的兄弟，而兩人都在ASML工作。

報道稱，在9月被逮捕的9名來自埃因霍溫的年輕人中，有3人在ASML工作。他們涉嫌為恐怖襲擊做準備和訓(xùn)練，并在一個埃因霍溫市北部的一個車庫里訓(xùn)練，并在對話中談及針對政治人物的暗殺，但調(diào)查中目前沒有發(fā)現(xiàn)具體的計劃、武器或爆炸物。

在ASML實驗室事件被調(diào)查曝光后，應(yīng)檢察院的要求，ASML檢查了這些人在工作時間是否進入了禁區(qū)，或者是否拿到了某些物品。ASML回應(yīng)稱："出于隱私原因，我們不能對情況進行評論"。

由于埃因霍溫市是ASML總部所在地，且光刻實驗室為潔凈車間，一般存放有易燃易爆、劇毒的化學(xué)品和高壓電路、高能激光器等，一旦被襲擊除損壞昂貴的設(shè)備和研究成果外還將引發(fā)不可控的后果。